GCE高純氣體減壓器安裝施工要求

高純氣體需要高質(zhì)量的減壓器能否將高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持合格的質(zhì)量，不僅對(duì)供氣系統(tǒng)的規(guī)

劃、設(shè)計(jì)、施工安裝、驗(yàn)收測試到運(yùn)營各個(gè)階段有十分嚴(yán)格的要求，而且對(duì)高純氣體供氣系統(tǒng)中的輸送氣路和各類閥門的材質(zhì)和選用有嚴(yán)格要求。

為了確保終端用氣點(diǎn)性能的穩(wěn)定，不僅需要保持氣體壓力的穩(wěn)定性和連續(xù)的流量，而且需要有良好的保護(hù)措施防止氣體使用端的污染。任何氣體供應(yīng)系統(tǒng)中，對(duì)壓縮氣體的安全處理需要具備對(duì)法規(guī)及技術(shù)知識(shí)的綜合了解。

GCE Druva高純氣路系統(tǒng)的質(zhì)量是由一系列性能決定的：

? 低泄漏率,高密封性

? 小化死角設(shè)計(jì)

? 哈氏合金膜片耐腐蝕,使用壽命長

? 阻尼系統(tǒng)

? 吹掃功能

? 連接口沒有異物阻擋氣流,保證安全

系統(tǒng)終的安裝和后期維護(hù)也是需要特別注意的。

雙級(jí)減壓器,

適用于惰性氣體、可燃?xì)怏w、助燃?xì)怏w及混合氣體,

純度6.0

進(jìn)氣壓力230 bar / 3300 psi

出氣壓力范圍0.2 - 10.5 bar / 3 - 145 psi

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

? 雙級(jí)設(shè)計(jì)使得出氣壓力保持恒定，幾乎不受進(jìn)氣壓力影響

? 隔膜閥帶90°關(guān)斷功能 (FMD 502-16) 或流量調(diào)節(jié)閥 (FMD 502-18)

? 膜片式減壓器

? 符合ATEX認(rèn)證的防爆、柔性的調(diào)壓手輪

描述

這些減壓器包含了鋼瓶接頭、減壓器母體、高低壓表、隔膜閥(型號(hào)-16)及流量調(diào)節(jié)閥(型號(hào)-18)及泄壓閥(如出氣

壓力>50bar)及卡套接頭。加裝感應(yīng)式壓力表和壓力報(bào)警盒能更好的實(shí)現(xiàn)氣體監(jiān)控功能。

應(yīng)用

FMD502系列鋼瓶減壓器提供了廣泛的使用范圍和良好的性能。

帶隔膜閥的500-16型可以讓減壓器在調(diào)壓的同時(shí)打開/切斷氣流。帶流量調(diào)節(jié)閥的FMD 502-18型使得氣體流量

的調(diào)節(jié)更為精準(zhǔn)。雙級(jí)設(shè)計(jì)保證了出氣壓力的恒定，幾乎不受進(jìn)氣壓力影響。

技術(shù)參數(shù)

母體: 經(jīng)特殊清洗處理、電拋光的316L (1 .4404) 或

經(jīng)特殊清洗處理、鍍鎳和鍍鉻的黃銅CW614(CuZn39Pb3)

1級(jí)閥座密封: PCTFE

2級(jí)閥座密封: PTFE

密封材質(zhì): PCTFE (不銹鋼), PTFE (銅鍍鉻)

泄壓閥密封材質(zhì): 不銹鋼: FKM, (EPDM, FFKM)*

銅鍍鉻: EPDM, (FKM)*

性能參數(shù): 請見第五章

基本參數(shù): 請見第11頁

壓力表量程: -1 - 5 bar (-15 - 75 psi)

-1 - 10 bar (-15 - 145 psi)

-1 - 18 bar (-15 - 260 psi)

0 - 315 bar (0 - 4500 psi)

重量: 約2 .1 kg (型號(hào) -14), 2 .4 kg (型號(hào) -16/18)

尺寸 (寬×高×深): 約225×140×210 mm

鋼瓶連接標(biāo)準(zhǔn): 符合DIN 477

鋼瓶連接: 根據(jù)氣體不同, 請見第五章

出氣連接: NPT 1/4"f, 可選卡套接頭

GCE高純氣體減壓器安裝施工要求